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電子工業(yè)無塵車間參數(shù)

B50472-2013潔凈廠房設計規(guī)范

GB50472-2008-電子工業(yè)潔凈廠房設計規(guī)范

GB50515-2010導（防）靜電地面設計規(guī)范

1、服務領域：精密電子、半導體、LED、測試與封裝、光導纖維、鋰電池等。

2、重點注意事項：

1、人流

1-1、人員凈化：

1-2、潔凈室入口宜設空氣吹淋室。當不設空氣吹淋室時，應設氣閘室；

1-3、單人空氣吹淋室，應按最大班人數(shù)30人設一臺。潔凈室人員超過5人時，空氣吹淋室一側應設單向旁通門；

1-4、空氣吹淋室的進、出門不得同時開啟，應采取連鎖控制措施；

1-5、空氣潔凈度等級為5級或嚴于5級的垂直單向流潔凈室，宜設氣閘室。

2、物流

2-1、潔凈室內的設備和物料出入口，應獨立設置，并應根據(jù)設備和物料的特征、性質、形狀等設置凈化用室及相應的物凈設施。

2-2、物料凈化用室與潔凈室之間應設置氣閘室或傳遞窗。

3、靜壓差

3-1、不同等級的潔凈室之間的靜壓差應大于等于5Pa；

3-2、潔凈室與非潔凈室之間的靜壓差應大于5Pa；

3-3、潔凈室與室外的靜壓差應大于10Pa。 4、根據(jù)生產(chǎn)要求需設計相應防靜電設施。

5、電子工業(yè)潔凈室空氣潔凈度等級表

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